SEMI F47 支持功能是指，因瞬時停電或者主回路電源電壓暫時較低而導(dǎo)致伺服單元內(nèi)部的主回路 DC 電壓降到

規(guī)定值以下時，檢出 A.971 （欠電壓）警告，并對輸出電流進(jìn)行限制的功能。

本功能支持半導(dǎo)體制造裝置要求的 SEMI F47 規(guī)格。

將本功能與瞬時停電保持時間 （ Pn509 ）的設(shè)定功能組合使用，在電源電壓降低時也可以繼續(xù)運行，不會因為

警報造成停機，無須進(jìn)行恢復(fù)作業(yè)。

1).由上位裝置執(zhí)行時 

   上位裝置收到欠電壓 （ A.971 ）警告后對轉(zhuǎn)矩進(jìn)行限制。收到欠電壓警告解除信號后解除轉(zhuǎn)矩限制。

2). 由伺服單元單體執(zhí)行轉(zhuǎn)矩限制時

根據(jù)欠電壓警告，在伺服單元內(nèi)部施加轉(zhuǎn)矩限制

收到欠電壓警告解除信號后，根據(jù)設(shè)定時間在伺服單元內(nèi)部對轉(zhuǎn)矩限制值進(jìn)行控制。

2、軟限功能

    所謂軟限，是指不使用速度比率信號 （ P-OT 、 N-OT ），當(dāng)機械的可動部超出軟限值時則與速度比率一樣進(jìn)行強制停止的功能。

使用軟限時，需進(jìn)行以下設(shè)定。

  • 將軟限功能設(shè)為有效

  • 設(shè)定軟限值

1).軟限功能有效／無效的選擇

軟限功能的有效／無效通過 Pn801= n. ??? X （軟限功能）進(jìn)行設(shè)定。

軟限功能在以下場合 （確定機械坐標(biāo)系原點的狀態(tài)）有效。除此以外的情況下，即使超出軟限范圍軟限功能也不

動作。

  • 完成 ZRET 指令后

  • 以 POS_SET 指令執(zhí)行了 REFE = 1 指令后

2).軟限值的設(shè)定

   設(shè)定正轉(zhuǎn)側(cè)、反轉(zhuǎn)側(cè)的軟限值。

    需根據(jù)方向設(shè)定區(qū)域，因此請務(wù)必設(shè)定成 “ 反轉(zhuǎn)側(cè)軟限值 < 正轉(zhuǎn)側(cè)軟限值 ” 。

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