只需更換傳感器組件，即可檢測(cè)各種半導(dǎo)體材料氣體
檢測(cè)對(duì)象
毒氣/半導(dǎo)體材料氣體
檢測(cè)范圍
根據(jù)規(guī)格而定
檢測(cè)原理
定電位電解式
檢測(cè)方式
泵吸引式
應(yīng)用行業(yè)
石油化工、半導(dǎo)體制造
產(chǎn)品詳情
PRODUCT DETAILS
產(chǎn)品描述：只需更換傳感器組件，即可檢測(cè)各種半導(dǎo)體材料氣體
01.產(chǎn)品特點(diǎn)
· 只需要更換傳感器單元就可以檢測(cè)各種對(duì)象氣體
· 用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行氣體檢測(cè)器校正
· 可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
02.產(chǎn)品用途
· 半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
· 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)
03.對(duì)象氣體
| 型號(hào) |
氣體 |
滿量程 |
| XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
| XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
| XDS-7DC |
SiH2Cl2 |
25ppm |
| XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
| XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
| XDS-7BH |
B2H6 |
500ppb |
| XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
| XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
| XDS-7CL |
Cl2 |
5ppm |
| XDS-7CF |
ClF3 |
1ppm |
| XDS-7HC |
HCl |
25ppm |
| XDS-7HF |
HF |
10ppm |
| XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
| XDS-7NO |
NO |
100ppm |
| XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
| XDS-7CO |
CO |
250ppm |
| XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
| XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
| XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
| XDS-7SD |
SO2 |
10ppm |
| XDS-7ND |
NO2 |
10ppm |
| XDS-7NF |
NF3 |
100ppm |
04.產(chǎn)品參數(shù)
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