歐姆龍OMRON光電區(qū)微型光電傳感器用途分類晶圓片托架落座傳感器EE-SPY801 / 802
晶圓片托架的落座檢測
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂
***的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架
采用抗干擾光的變調(diào)光方式
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）