日本山武azbil 藍(lán)寶石隔膜真空計(jì) SPG5/6/7/8中文資料產(chǎn)品說(shuō)明書
藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)使用環(huán)境溫度范圍SPG5(標(biāo)準(zhǔn)型)
SPG5(標(biāo)準(zhǔn)型)：有自己加熱的機(jī)型10~45°C(35℃以上時(shí)需要0.5m/s以上的冷卻風(fēng))無(wú)自己加熱的機(jī)型0~60℃
SPG6(高溫環(huán)境對(duì)應(yīng)型)：10~65℃(垂直安裝時(shí))、10~70℃(水平安裝時(shí))(45℃以上時(shí)需要0.5m/s以上的換氣風(fēng))
SPG7(結(jié)冰干燥用型)10~45C(35C以上時(shí)需要0.5m/s以上的冷卻風(fēng))
SPG8(高溫加熱型)有冷卻風(fēng) ( 0.5m/s以上)的場(chǎng)合10~55℃（垂直安裝時(shí))、10~60°℃(水平安裝時(shí))無(wú)冷卻風(fēng)的場(chǎng)合10~35℃(垂直安裝時(shí))、10~45C(水平安裝時(shí))。
特點(diǎn)
采樣高耐腐蝕性、高耐熱性的單晶體藍(lán)寶石
感壓部材料采用具有高耐腐蝕性、高耐熱性、機(jī)械特性優(yōu)異的單晶體藍(lán)寶石，通過(guò)靜電容量檢測(cè)方式，即使在高溫檢測(cè)環(huán)境下也可實(shí)現(xiàn)高的檢測(cè)重復(fù)性。
·檢測(cè)誤差小
采用先進(jìn)的信號(hào)處理技術(shù)、實(shí)現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測(cè)。
小型/輕量的本體
通過(guò)采用先進(jìn)的顯微機(jī)械加工技術(shù)形成的藍(lán)寶石傳感器、實(shí)現(xiàn)了大幅度的小型/輕量化。
簡(jiǎn)單的零點(diǎn)調(diào)整功能
通過(guò)Auto零點(diǎn)調(diào)整開關(guān)或Up/Down零點(diǎn)調(diào)整開關(guān)，可簡(jiǎn)單地進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整。
·機(jī)器狀態(tài)顯示
通過(guò)LED顯示，可一目了然地判斷產(chǎn)品的狀態(tài)（正常、預(yù)熱中、異常)。
迅速啟動(dòng)和穩(wěn)定的溫度控制
通過(guò)采用了微處理器的數(shù)字PID運(yùn)算對(duì)加熱器進(jìn)行溫度控制、實(shí)現(xiàn)了迅速啟動(dòng)和穩(wěn)定的溫度控制。
·智能編程器軟件包對(duì)應(yīng)
智能編程器軟件包對(duì)應(yīng)(另售SLP-SP5J70)可方便地進(jìn)行監(jiān)視和參數(shù)的讀寫。
·符合CE
符合EC指令、符合CE標(biāo)識(shí)。(適合規(guī)格:EN61326、EN55011 )
藍(lán)寶石隔膜真空計(jì) SPG系列采用了藍(lán)寶石靜電容量式壓力傳感器、是具有高精度、高可靠性、高耐腐蝕性的小型·輕量的隔膜真空計(jì)。主要用于半導(dǎo)體工藝流程。
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