217 型壓力變送器可選帶C 型或W 型密封的朝下安裝的壓力端口，帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至5 Ra（ ***大7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實(shí)現(xiàn)無污染氣體輸送。每個(gè)傳感器都采用質(zhì)譜儀進(jìn)行了1 x 10-9 ATM.CC/sec 級別的氦滲漏試驗(yàn)。

Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于Setra 成熟的電容傳感技術(shù)制造，能提供幾乎不受EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號。

■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI

特性

·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·出眾的穩(wěn)定性，避免停機(jī)
·可選帶C 型或W 型密封的壓力端口
·抗電磁干擾/ 射頻干擾，可防止誤停機(jī)
·易于吹掃
·符合CE 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求

應(yīng)用

·模塊式“Block”氣體棒和面板

·高純度氣體輸送系統(tǒng)

·半導(dǎo)體過程工具