川崎機(jī)器人 NX系列無塵機(jī)器人

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店鋪基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說明

NX系列機(jī)器人

用于半導(dǎo)體、有機(jī)EL、LCD面板

NX系列無塵機(jī)器人被設(shè)計為與兩個或三個300mm的FOUP配合使用，而不需要使用軌道。NX系列在設(shè)計上與NS系列類似，但是附加的獨(dú)立軸更換了RTZ動作設(shè)計，顯著增加了NX的運(yùn)動范圍。

NX510 2鏈接，單手臂
NX520 2鏈接，雙手臂
NX5403鏈接，單手臂

卓越的伸展距離

單個的NX系列手臂可以達(dá)到2或3個FOUP而不需要線性軸。該手臂被設(shè)計為高剛性，以及可以利用窄間距訪問晶圓臺以及FOUP中的任意位置。

高吞吐量

NX系列實(shí)現(xiàn)了利用雙臂機(jī)械手，如NX520，從FOUP到校準(zhǔn)器然后到平臺200晶圓每小時（WPH）的吞吐量。

SEMI F47合規(guī)

NX型號可以瞬時響應(yīng)電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時自動恢復(fù)運(yùn)行。

SEMI S2合規(guī)

NX型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。

型號		NX510	NX520	NX540
構(gòu)造		水平多關(guān)節(jié)型
自由度		4 軸	5 軸	4 軸
鏈接		2	2	3
運(yùn)動范圍	θ 軸 (旋轉(zhuǎn)JT2)	330°	330°	318°
	θ 軸 (旋轉(zhuǎn)JT2)	440 mm	440 mm	440 mm
	Z 軸 (上下JT3)	832 mm	832 mm	1,232 mm
	Z 軸 (上下JT3)	336°	336°	336°
	X 軸 (前后JT4)	-	336°	-
	X 軸 (前后JT4)
	W 軸 - 下 (旋轉(zhuǎn)JT6)
	W 軸 - 下 (旋轉(zhuǎn)JT6)
	W 軸 - 上 (旋轉(zhuǎn)JT7)
	W 軸 - 上 (旋轉(zhuǎn)JT7)
重復(fù)性		± 0.1 mm （晶圓中心）		±0.25 mm
*無塵度1**		ISO 1級
控制柜		D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜)