激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點，激光干涉儀，則是以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中*成功的應(yīng)用之一。

國產(chǎn)激光干涉儀（SJ6000）采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實現(xiàn)0.5ppm精度的線性測量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測量，并進行動態(tài)分析。

國產(chǎn)激光干涉儀（SJ6000）工作原理：
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。



國產(chǎn)激光干涉儀（SJ6000）技術(shù)參數(shù)：

      系統(tǒng)性能

²    測量方式：單頻

²    穩(wěn)頻精度：0.05ppm

²    動態(tài)采集頻率：50 kHz

²    預(yù)熱時間：約6分鐘

²    工作溫度范圍：(0~40)℃

²    環(huán)境溫度范圍：(0~40)℃，環(huán)境濕度：(0~95)%RH

²    存儲溫度范圍：(-20~70)℃

      環(huán)境補償示值誤差

²    空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    空氣濕度傳感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性測量

²    測量距離：(0~40)m

²    測量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    測量分辨力：1nm

²    測量*大速度：4m/s

      角度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±10°

²    測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

²    測量分辨力：0.1″

      平面度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±1.5 mm

²    測量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

測量分辨力：0.1μm

      直線度測量

²    軸向量程：(0.1~4.0)m

²    測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm

      垂直度測量

²    軸向量程：(0.1~3.0)m

測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm/m

      回轉(zhuǎn)軸精度測量

²    角度測量范圍：(0~360)°

²    測量精度：±1″

*高轉(zhuǎn)速：10rpm

鋰電池供電，藍牙傳輸數(shù)據(jù)。