FS1015系列微機電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。

產(chǎn)品特點：

專為呼吸機和麻醉機的流量計量需求而設(shè)計 

高靈敏度，應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計原理可測量*低至8mm/sec的流體流量 

無旁通結(jié)構(gòu)，低壓損 

傳感器的零點穩(wěn)定度高

經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復(fù)使用

自動轉(zhuǎn)換量程的開關(guān)設(shè)計提高了測量精度 

主機設(shè)備上的用戶界面可輕松實現(xiàn)線性輸出

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品 FS1015CL 單位

流量范圍 0~100 / 0~150 SLPM

量程比 100：1  

精度 ±(1.5+0.2FS) %

重復(fù)性 0.25 %

零點輸出飄移 ±30 mV

輸出飄移 ±0.12 %/ ℃

響應(yīng)時間 8 ms

工作電壓 5±1% Vdc

輸出方式 線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc

*大流量壓損 1300 Pa

*大工作壓力 0.2 MPa

工作溫度 -10~+55 ℃

儲存溫度 -20~+65 ℃

工作濕度 <95%RH(無結(jié)冰、無凝露)

電氣接口 5針插座，AMP 103956-4  

機械接口 ISO-15mm  

校準方式 空氣，20℃，101.325kPa  

重量 21.5 g