近日，由中國(guó)電子科技集團(tuán)48所、2所、55所共同申請(qǐng)的國(guó)家科技部“863”前沿技術(shù)項(xiàng)目已獲批，該項(xiàng)目的主要目的是為高壓碳化硅電力電子器件的制造提供關(guān)鍵設(shè)備和工藝，其中包括4-6寸碳化硅單晶生長(zhǎng)爐、碳化硅外延生長(zhǎng)爐和碳化硅高溫高能離子注入機(jī)的研發(fā)。

　　當(dāng)前正值我國(guó)大力開(kāi)展科技創(chuàng)新推動(dòng)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的新時(shí)期，碳化硅制造設(shè)備已被列入國(guó)家《新材料產(chǎn)業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》重點(diǎn)產(chǎn)品目錄，碳化硅材料和器件的科研也已納入電力電子行業(yè)“十二五”規(guī)劃。項(xiàng)目獲批，對(duì)中國(guó)電科搶占SiC裝備市場(chǎng)的先機(jī)奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。