據(jù)報道，中國科學院電子學研究所傳感技術國家重點實驗室近日成功研制出基于MEMS（微機電系統(tǒng)）技術的電場傳感器系列創(chuàng)新產(chǎn)品，已實現(xiàn)小批量生產(chǎn)和應用。產(chǎn)品已在航空航天、智能電網(wǎng)等多領域。

據(jù)業(yè)內(nèi)預測，隨著全球電子制造業(yè)繼續(xù)向中國轉移，預計2013年至2015年，中國MEMS市場將繼續(xù)保持兩位數(shù)增長，到2016年，中國MEMS市場銷售額預計將超過350億元。